极目新闻记者 马清妮
通讯员 宋珈琪
百级洁净度、22℃恒温恒湿、微米级防微振……7月24日，位于国家级实验室——九峰山实验室正南侧的武汉化合物半导体孵化及加速制造基地项目内，建设正酣，预计今年8月底将整体交付。
项目航拍图在建筑施工领域，芯片厂房被誉为“超级工程”，不仅配套复杂，而且洁净度远超手术室。作为九峰山实验室的重点配套项目，工期与质量要求苛刻。如何为芯片生产打造一座安全、精密的“超级工厂”？极目新闻记者近日进行了现场探访。
极限速度
交付一层入驻一层
夏至大暑，气温火热。九龙湖街道上，12栋银灰色厂房纵向排开，犹如两条平行的键盘轨道，科技感十足。走进园区，整洁有序：部分厂房已有企业进场调试设备，未交付区域施工井然，互不干扰。
园区科技感十足“上下游企业盯着高标准配套，基本移交一层就入驻一层。”中冶南方项目负责人刘华伟介绍，今年4月以来，已有半导体设备、AI芯片研发、新能源车灯等企业入驻。
“简单来说，我们就是给芯片生产造一个‘超级洁净间’。”刘华伟打了个比方，市民手机里那片薄薄的芯片，要经过拉晶、切割、光刻等上千道“微观塑形”，而这一系列操作，则需要一个“量身定制”的特别空间——22℃恒温恒湿、防微振、万/千/百级洁净度。
作为省、市、区三级重点项目，该基地总建筑面积16.8万平方米，其中三分之二以上都用来打造千级、百级超净洁净室以及冷却、超纯水处理、大宗气体供应等配套设施，是九峰山实验室的重大配套工程。
除尘防振
打造百级洁净厂房
如此严苛的芯片生产厂房，究竟藏着哪些“尖板眼”？当日上午10时许，极目新闻记者换上洁净服，进入即将交付的百级洁净厂房。
经过鞋底粘尘、风淋室360度强风吹扫，气密门后一个通体雪白的厂区跃然眼前：墙面、地面、天花板全是白色，灯光柔和均匀，连呼吸声都格外清晰。
百级洁净厂房内部“这就是百级洁净厂房。”刘华伟说，所谓百级，即每立方英尺空间里0.5微米以上灰尘颗粒不超过100颗。“人在这里打个喷嚏，洁净度瞬间就超标”。
超洁净环境是怎么做到的？刘华伟介绍，整个洁净系统依靠MAU+FFU+DCC三重保障：新风系统形成内部正压阻隔脏空气，高效过滤机组循环除尘，DCC温控水管锁定22℃恒温、45%恒湿。
记者低头看脚下，地面不是普通的实心地面，而是一块块带孔的金属板。这种架空地板，一平方米能承重1吨，风从头顶吹下来，穿过地板孔排走，形成“上送下回”的气流路径，避免扬尘。此外，项目选址避开主干道，将外界振动控制在微米级，防止精密光刻环节受扰。
全链条保障
匠心跑出加速度
洁净厂房背后有复杂保障体系。园区动力站内，巨型不锈钢罐体与密集管道构成了芯片生产的“后勤中枢”。
“芯片‘喝’的水，比人喝的挑剔得多。”中冶南方技术负责人苏伟介绍，芯片生产必须用超纯水——要去除自来水中的硫、氯、钠、钾等杂质，只剩水分子，这套定制化水处理系统就是为此配套。
超纯水制备设备特种气体也是芯片生产的“口粮”。硅烷、氨气、高纯氮气等，气体纯度直接影响芯片良率。项目配套的大宗气体供应系统，可实现24小时稳定高纯输送。
高品质的背后是建设者的“极限速度”：从开工至首批企业入驻仅14个半月。提速不靠蛮干，靠的是技术创新——施工中，项目团队集成新型跳仓法、激光整平等多项工艺，地面平整度误差控制在每米2毫米内。
据悉，今年内项目整体交付后，园区将集聚一批化合物半导体产业链上下游企业，进一步完善光谷半导体产业生态，助力“中国芯”从光谷走向世界。
（部分图片由通讯员提供）
（来源：极目新闻）
